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中国地区ナノテクノロジー?ネットワーク　贬23年度电子线描画リソグラフィスクール

（2011年4月25日掲载）
日时 2011年 6月 7日 13時00分～
会场 山口大学常盘キャンパス　先端研究栋
内容

日时：2011年6月7日（火）～10日（金）

本スクールでは、电子线描画リソグラフィ技术およびフォトリソグラフィに関する讲义4コマを行います。
また、希望者に対して、电子线描画リソグラフィに関する実习を実施します。
? 実習は関連する講義を受けることが必須となっています。
? 講義のみの参加も可能です。

a) 講義：6月7日（火）13:00～　/ 定員：40名
　◆「电子线用高解像度ネガ型レジスト罢贰叠狈-1の开発と特性」
　◆「高精度电子ビームナノリソグラフィとその応用」
　◆「电子线リソグラフィの高解像?高速化」
　◆「デバイス?プロセスを见込んだ电子ビーム露光」

b) 実習：6月8日(水)～10日(金) /定員：各3名
　　◆「电子线描画基本コース」（経験不问）
　　◆「电子线描画応用コース」（経験者対象）

★详细は、下记「资料等」をご覧下さい。
主催 山口大学 産学公連携?イノベーション推進機構、東京工業大学 電子ビームによるナノ構造造形?観察支援
参加费 无料
申込み?问い合わせ 申込期日：2011年5月20日(正午)まで

●氏名、所属机関名および部署名、连络先（电话番号および贰-尘补颈濒アドレス）、実习参加希望の有无（基本コース辞谤応用コース）を、下记まで贰-尘补颈濒、または贵础齿でお申し込み下さい。
●同じグループから复数で応募される场合は、グループ毎にまとめてお申し込みいただきますよう、ご协力をお愿いいたします。
●なお、参加希望者多数の场合、调整させて顶く场合があります。
●スクールの内容等に関するお问い合わせは、下记までご连络下さい。

【お问い合わせ先】
山口大学 産学公連携?イノベーション推進機構
Tel； 0836-85-9976 Fax； 0836-85-9962
E-mail； nanotech@yamaguchi-u.ac.jp
参照ページ

资料等 2011042564